La técnica de microsistemas (Mikrosystemtechnik, MST) produce (sub)sistemas técnicos cuyas estructuras definidoras de funciones se extienden al sector micrométrico. Combina métodos de microelectrónica, micromecánica, microfluídica y microóptica, aunque también desarrollos de la informática, biotecnología y nanotecnología, unificando los desarrollos y las estructuras de estos sectores en nuevos sistemas.
En estos sistemas actúan sensores, actores y procesamiento de datos simultáneamente. Un ejemplo prominente son los sensores ópticos en los ratones inalámbricos, o también los cabezales de impresión Bubble-Jet de las impresoras modernas que combinan inyectores micrométricos con elementos calentadores, en parte incluso con inteligencia propia en el cabezal de impresión. Otros ejemplos de aplicación son los sensores de aceleración para la activación de airbags, sensores giratorios para barras antivuelco, instrumentos quirúrgicos de invasión mínima como sistemas endoscópicos o sensores químicos para el control alimentario. Otro sector de la MST es la técnica de microprocedimientos que se ocupa de los procesos físicos y/o químicos que transcurren en los aparatos microestructurados.
La MST se ocupa del diseño y la fabricación de conmutadores microelectrónicos y componentes micromecánicos y microópticos en materiales semiconductores como el silicio cristalino o el arseniuro de galio. La MST también se ocupa de la producción con otros materiales como materiales sol-gel y plásticos en escalas micrométricas, como por ejemplo la fabricación de estructuras micromecánicas en la técnica LIGA o la producción de sistemas con 3D-CSP (chip size packaging tridimensional) y RMPD (rapid micro product development, fabricación en serie sin herramienta de microcomponentes).