マイクロシステムテクノロジー（ＭＳＴ）は、マイクロメーター大の微細な構造を持つ（サブ）システムや部品の基盤となる技術です。マイクロエレクトロニクス、マイクロメカニクス、マイクロ流体工学およびマイクロ光学を組み合わせたこの技術は、情報工学、バイオテクノロジー、ナノテクノロジーの開発技術と構造を新しいシステムに統合したものでもあります。

このシステムでは、センサー、アクチュエーターおよびデータ処理が相互に作用しています。マイクロシステムテクノロジーの代表的な事例は、光センサーや、ワイヤレスのマウスおよびバブルジェットプリンターのプリントヘッドです。プリントヘッドはその超極細のノズルにヒーターを組み合わせたもので、中には知能を備えたものもあります。それ以外にも、エアバッグ作動のための加速度センサー、ロールバー用ヨーレートセンサー、外科手術の侵襲性を最小限に抑えるための内視鏡などの医療器具、あるいは食品モニタリング用化学センサーなどの応用例があります。ＭＳＴの境界分野であるマイクロプロセスエンジニアリングは、微細構造デバイス内で進む物理的および／または化学的プロセスを取り扱う技術です。

ＭＳＴは、結晶シリコンまたはガリウムヒ素などの半導体材料を使用して、マイクロエレクトロニクス回路および微小機械部品と微小光学部品を設計、製造する分野です。上述以外のゾルゲル材料やミクロメートル規模のプラスチックなどを使用して、例えばＬＩＧＡ技術で微小機械構造を作り出したり、３D－ＣＳＰ（３次元チップサイズパッケージング）およびＲＭＰＤ（高速マイクロ製品開発、ツール不要のマイクロ部品の量産）を装備したシステムを製造しています。

マイクロシステムテクノロジー（ＭＳＴ）は世界中の脚光を浴びており、ドイツ、特にバーデン・ヴュルテンベルク州がこの技術革新の原動力となっています。マイクロシステムテクノロジーを搭載したアプリケーションの代表的なものは、心臓ペースメーカー、バイオチップ、侵襲性を最小限に抑えた外科手術器具、エアバッグまたは携帯電話です。これらの装置類は、開発者に対する社会の認知度を高めるだけでなく、雇用の創出にも一役買っています。予測ではマイクロシステムテクノロジー市場は、年率２０％で成長すると言われています。現在マイクロシステムテクノロジーの商品化と工業利用が盛んに行われています。バーデン・ヴュルテンベルク州では、自動車と生命科学分野で特にＭＳＴの利用が活発です。中小企業を研究機関の連携を支援し、小型化を促進するネットワークも組織されています。応用研究に重点を置いている研究所は、微小製品の商品化には欠かすことのできないパートナーです。

バーデン・ヴュルテンベルク州では、マイクロシステムテクノロジー関連のあらゆる応用分野と、材料およびシステムのサプライヤーを見つけることができます。当州はこの点でドイツ全国でも１、２位を争う立地です。バーデン・ヴュルテンベルク州の工業は、マイクロシステムテクノロジー分野で抜群の競争力の強さを誇っています。

バーデン・ヴュルテンベルク州には、優れた研究教育インフラストラクチャーが整っており、基礎研究と応用研究の有名な研究所が揃っています。当州のマイクロシステムテクノロジーを専攻した大卒者数、および専門職の雇用数はトップクラスです。

バーデン・ヴュルテンベルク州における各種市場セグメントの評価は、「ネクサスＭＥＭＳおよびマイクロシステム市場調査第３版（２００５年）」を根拠としています。この調査では、例えば自動車の加速度センサーというように、製品の種類とその専用アプリケーションの組み合わせを市場セグメントとして捉えています。

バーデン・ヴュルテンベルク州は以下の分野で高い評価を受けています。

• 自動車用ＭＳＴセンサー
• 自動化アクチュエーター
• 測定制御用ＭＳＴセンサー
• 医療機器用アクチュエーター
• バイオ／生命科学用アクチュエーター

この実績は、バーデン・ヴュルテンベルク州に立地するＭＳＴメーカーの現状と、国際市場での評価が反映したものです。例えば、自動車用ＭＳＴセンサーの世界一のメーカーであるロバート・ボッシュ社は、バーデン・ヴュルテンベルク州に本社を置いています。測定装置用のＭＳＴメーカーの大手であるエンドレス＆ハウザー、ジックもいます。さらに医療、バイオおよび生命科学分野のＭＳＴメーカーと研究所を代表するグライナー・ビオ・ワン、シュトルツ、エースクラップも当州に立地しています。

高い評価を受けているバーデン・ヴュルテンベルク州の新興分野

• バイオ／生命科学分野のマイクロ流体工学、バイオ化学分析
• 航空、防衛および安全保障分野のマイクロ流体工学、バイオ化学分析
• 測定制御用ＭＳＴセンサー／光学ＭＳＴ
• バイオ／生命科学用アクチュエーター
• 医療機器用医薬品計量器
• 航空、防衛および安全保障分野のＭＳＴセンサー

工業生産向けのアプリケーション開発は、バーデン・ヴュルテンベルク州の経済技術政策の重点項目のひとつです。この政策では特に、ハーン・シッカート協会を奨励しています。同協会はシュツットガルトのマイクロ構造技術（ＨＳＧ－ＩＭＡＴ）、フィリンゲン・シュヴェンニンゲンのマイクロ情報技術研究所（ＨＳＧ－ＩＭＩＴ）を運営しています。両研究所では合計約１００人の職員が雇用されており、前年度には８３０万ユーロの予算が編成されました。そして企業から直接受注する委託事業の割合が年々増加しているほか、研究所内で業界標準に準拠した微小部品を小ロットあるいは中ロットで製造する能力も有しています。

ＨＳＧ－ＩＭＩＴは先ごろ、バーデン・ヴュルテンベルク州の助成を受けて、エネルギー自給システム、微小医療機器およびフレキシブルな微小構造システムという、新しく将来性のある研究分野を確立し、新たに１８人分の雇用を創出しました。

フライブルク大学マイクロシステムテクノロジー研究所（ＩＭＴＥＫ）も、この技術分野のペースメーカーです。教授１８人、職員３００人を擁し、同専門分野で欧州最大の研究所に成長したＩＭＴＥＫには、マイクロエレクトロニクスをはじめ、センサー、バイオ医療向けの微小機器にいたるまで、マイクロシステムテクノロジーに関連するほとんどの分野の研究者が揃っています。同研究所はその学術面の貢だけでなく、専門的な観点から具体的な製品の実用化をサポートしています。その中でＩＭＴＥＫは、エースクラップ、アプライド・バイオシステムズ、ダイムラークライスラー、エンドレス＆ハウザー、ジェネスキャン、ノヴァ・バイオメディカル、マイクロナス、メディセンス、ロシュ、ジックまたはＳＴＥＡＧマイクロパーツなどの企業と産学連携事業を行っています。

カールスルーエ研究センター（ＦＺＫ）も、マイクロシステムテクノロジーの世界有数のパイオニアに数えられます。現在ＦＺＫが重点を置いているのは、マイクロシステムテクノロジーとナノテクノロジーの接点です。この分野は非常に多くの業種に技術革新を推進力になると目されており、機能を追加したり、新しいマテリアルおよび効果を取り入れるにあたって極めて重要な役割を果たすことになります。ＦＺＫは、マイクロシステムテクノロジーおよびナノテクノロジーを、小型化のための相互補完的な科学技術であると捉えています。ナノテクノロジーにより、これまで利用できなかった、まったく新しい効果が利用できるようになるのです。マイクロシステムテクノロジーは、その独特の体系的な性能により、トータルシステムソリューションの構築を可能にします。ＦＺＫはナノ／マイクロシステム計画で、用途に合ったソリューションの開発を目指しています。

バーデン・ヴュルテンベルク州のその他研究機関および大学は以下のとおりです。

研究機関へのリンク：

Albert-Ludwigs-Universität/IMTEK
Forschungszentrum Karlsruhe
Fraunhofer-Institut - IPA
Hahn-Schickard-Gesellschaft
Hochschule Esslingen
Hochschule Furtwangen
Institut für Mikroelektronik Stuttgart - IMS
Universität Stuttgart

市場でのマイクロシステムテクノロジーの位置づけを向上させ、長所を集結するため、研究機関と企業の連携を促進するためネットワークが組織され、精力的に活動しています。

バーデン・ヴュルテンベルク州経済省および１６の企業と団体が主導して、バーデン・ヴュルテンベルク州マイクロシステムテクノロジー協会を設立しました。同協会の目的は、学術界と企業をより緊密に連携させることです。バーデン・ヴュルテンベルク州マイクロシステムテクノロジー協会（ＭＳＴ ＢＷ）は、バーデン・ヴュルテンベルク州内外のネットワークの構築、ワークショップおよび専門領域を超えた作業部会の組織、専門教育の機会の提供を行っています。そして、戦略的な連携事業および奨励事業によって新興企業を支援します。

フィリンゲン・シュヴェンニンゲンにあるマイクロマウンテンズ・ネットワークは先ごろ、連邦政府の助成対象である新技術移転センター「アプリケーションセンター」を設立しました。同センターの中心的な役割は、中小企業がマイクロシステムテクノロジーの研究成果をもっと早く実用化できるようにすることです。マイクロマウンテンズ・アプリケーションセンターは研究機関と異なり、自ら賠償責任を負う企業と同じように活動できるため、委託事業のほか技術革新プロジェクトも実施しています。したがって同センターも、急成長する微小技術市場、マイクロシステムテクノロジー市場でバーデン・ヴュルテンベルク州経済の競争力を強化する原動力となっています。

バーデン・ヴュルテンベルク州のその他のネットワーク：

バーデン・ヴュルテンベルク州では見本市も多数開催されています。

バーデン・ヴュルテンベルク・インターナショナル主催のイベント

バーデン・ヴュルテンベルク・インターナショナルは、当州のマイクロシステムテクノロジー関連企業および機関の見学ツアーを企画・実施しています。この分野にご関心をお持ちの企業、専門家、コンサルタント、ジャーナリスト向けの充実した内容になっており、ご希望に応じて変更も可能です。

ご希望の際は、tour@bw-i.de までご連絡ください。